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      高纯特气管道工程

         
         
        

       项目  基本参数
       设备名称  高纯气体管道工程
       设备用途  向制程工艺和实验室设备持续不间断高纯度供气需要
       操作模式  自动/手动切换模式
       设备构成  系统由高洁净阀门、压力表件、自动切换装置、洁净不锈钢管路等构成;
       设备参数
      ◎ 整套系统可实行自动或手动切换,不间断气体供给系统是专为持续供应气体而设计的、紧凑的、模块化的气体供应系统。系统本身经过洗净、吹扫等多道严格工艺工序来完成,确保气源的高纯度和安全性、稳定性。以满足工艺制程要求和实验要求的压力和流量,保证实验可持续和不间断供气需要; 
      ◎ 采用洁净316或304不锈钢材型,内表面为AP处理;
      ◎ 所有管道采用TIG轨道自动焊接(数码焊接); 
      ◎ 系统所用管件、阀门、表件管件均为进口产品(也可根据客户定制); 
      ◎ 可选配气体探测警报设备和低压报警系统; 
      ◎ 可提供整套方案的系统设计和规划预算; 
      ◎ 应用范围:半导体、光伏、LED、TFT-LCD、光纤、化工、制药、食物/药剂、石化、科研院所或其他工业用户;  
          


          
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