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全自动硅片清洗机 |
项目 |
基本参数 |
设备名称 |
全自动硅片清洗机、硅料/棒清洗机 |
设备用途 |
主要用于对硅材料中的硅块/料的全自动清洗、干燥处理; |
操作模式 |
PLC编程控制+人机界面+全自动工艺流程(可选手动模式) ; |
设备构成 |
设备由电气系统、伺服系统、防腐塑料及氟材料、管路部分、海外标准件等构成; |
设备参数 |
◎ 无人工干涉、无接触酸碱、现场检漏管理系统;
◎ 自动化清洗流程,全自动补液技术保证清洗和浓度的稳定性、均匀性;
◎ 全自动硅片干燥技术,保证硅材料无水痕;
◎ PLC控制及触摸屏操作界面,方便参数设置及多工艺方式转换;
◎ 合理设计温控及抽风系统,实现理想的清洗效果;
◎ 处理清洗量约:篮装约100-250kg/小时;
◎ 根据客户定制需求不同,定制的湿法清洗流程方案; |
| 下一页:单硅(芯)片清洗机 | |
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