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| 化学供液系统 |  
| 项目 |
基本参数 |
| 设备名称 |
供酸系统(CDS) |
| 设备用途 |
持续不间断的向晶圆制程过程中输送高纯化学液体； |
| 操作模式 |
PLC编程控制+人机界面+全自动/手动模式； |
| 设备构成 |
设备由电气系统、伺服系统、防腐塑料及氟材料、管路部分、海外标准件等构成； |
| 设备参数 |
◎ 全面完善的防腐保护及检漏措施，苛刻的工艺保证了设备的密封性和安全性；
◎ 全自动供液，无人工干涉，系统自动切断引擎功能；
◎ 输送流量为：20L/min；
◎ 所用工件均为高纯PTFE/PVDF/PFA/PP/PVC等纯化材质；
◎ N2及CDA压力在线监控，低于设定值，CDS自动切断；
◎ 可采用紧急一备一用预案，保证生产及时供液和运行正常化；
◎ 根据客户定制需求不同，定制设备性能方案；
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下一页：(CDS)集中供液系统 |   |
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